行省制度是中国历史上一种重要的地方行政管理制度，它的发展和演变反映了中国古代政治体制的变迁。以下是对行省制度建立过程的历史梳理：

一、元朝初期的行中书省（1279年-1368年）

行省制度起源于蒙古帝国时期的忽必烈时期。在征服南宋之后，为了有效地管理广阔的疆域，忽必烈于至元二十五年（1288年）设立了“行中书省”，简称行省。最初，行省只是中央政府在中西南部几个省份设置的临时派出机构，但随着时间推移，这些机构的权力逐渐扩大，成为固定的地方政府。

二、行省制的确立与完善（14世纪初期）

到了元末明初，行省制得到了进一步的确定和发展。朱元璋在推翻元朝后，继承了行省制的框架，但在一定程度上进行了改革和完善。他将全国分为若干个承宣布政使司，每个布政使司下辖多个府和州县，同时设提刑按察使司和都指挥使司分管司法和军事。这种三权分立的模式被称为“三司制”，旨在防止地方官员专权。

三、明朝的调整与强化（1368年-1644年）

明朝对行省制度进行了一系列的调整，使之更加符合实际治理需要。首先，将一些省份的边界进行了重新划分；其次，取消了一些不必要的省级层级，如改浙江行省为浙江省等；此外，还设置了巡抚和总督等职位，以加强对地方的监督和管理。这一系列的措施使得行省制度更加成熟和有效。

四、清朝的沿袭与发展（1644年-1911年）

清王朝入关后，基本沿用了明朝的行省制度，但也有所创新。例如，康熙年间，为了加强对边远地区的控制，增设了直隶省、盛京将军辖区、伊犁将军辖区等特殊行政区划。同时，随着人口的增长和经济的发展，又不断调整各省的区划和地位，最终形成了十八个行省的基本格局。

五、近现代的变革（19世纪晚期至20世纪早期）

进入近代以后，面对西方列强的入侵和社会经济的变化，晚清政府和中华民国政府都对行省制度进行了改革。其中最显著的是1905年的“新政”期间，开始推行地方自治运动，试图通过加强地方自主性和民主化来推动社会进步。然而，这一进程由于辛亥革命的到来而中断。

综上所述，行省制度从元朝开始逐步形成，经过明清两代的不断完善和发展，成为了中国古代地方行政体系中的重要组成部分。它不仅有助于维护国家的统一和稳定，也对中国的政治文化产生了深远的影响。时至今日，虽然行省制度的具体形式已经发生了很大变化，但其基本的区域划分原则仍然延续了下来。